等离子头
•等离子类型：直接等离子
•有效覆盖范围：150mm（宽度）
•冷却：水冷
•机身材质：5083系列铝合金
样板
•尺寸：450mm x 450mm
•最大样品高度：< 3mm
发电机
•频率：（射频）13.56MHz
•功率：最大600W
•自动阻抗匹配
•过程监控
气流模块
•气体管路：×2 通道（Ar、O 2）
•气体流量控制：高重复性MFC
•MFC 流量：30 slm (Ar) / 100 sccm (O 2 )
控制器
•自动/手动操作
•交互式集成软件
•7” 触摸屏电脑
•保存工艺配方
•实时过程图和错误监控
•样板尺寸：450mm x 450mm
•等离子：DBD
•气体：O2 100sccm, Ar 30slm
•等离子发生器：RF, 13.56 MHz / 高达 300W
•控制器：通过 7 寸触摸 PC 进行自动和手动控制
•选项： X、Y、Z 机器控制
