汽化器
•单块铝（未焊接，最小化泄漏）
•加热器：最大。200℃
•用于热阻的门加热器：最大。200℃
•蒸发温度 设置：最多 10 步（温度和时间）
热解器
•管材：石英（或铬镍铁合金作为替代品）
•热解器加热器：最大。800℃
•3 x 分区（独立）加热器
•温度传感器：2线K型传感器x 3ea（每个加热器每个传感器）
沉积室
•单块铝（未焊接，最小化泄漏）
•均匀气流设计（专利号 10-1701381）
•腔室尺寸：ID 200 mm × L. 420 mm
•样品加载板
•旋转进给
冷阱
•捕集方法：直接捕集器、玻璃冷凝器
•最低温度：– 80℃
•环境温度：5～30℃
控制器
•DSP板载信号控制器
•自动/手动操作
•蒸发器：高达 200℃（高达10步程序）
•热解：高达 800℃（3分区加热器）
•腔室尺寸：I.D. 200 X 长度 420 (mm)
•自动及手动操作模式
•几何尺寸：W.1,600 x D.800 x H.1,300 (mm)
