工艺室
•双模式：PE（等离子蚀刻）和 RIE（反应离子蚀刻）模式，双电极
•尺寸：140×200×110（W×D×H，mm）
•单块铝（未焊接，最小化气体泄漏）
•均匀气流设计（专利号 10-1697205）
发电机
•频率 : 20~100kHz (10kHz 增量)
•功率：最大100W（以 1W 为增量可调）
•自动阻抗匹配
•过程监控
气流模块
•最大气体通道数：×3行
•气体流量控制：高重复性 MFC
•吹扫线：×1 ea
•排气管 : × 1 ea
•MFC 流量 : Max.100 sccm (1 sccm 增量)
控制器
•DSP板载信号控制器
•自动/手动操作
•交互式集成软件
•7” 触摸屏 PC 和 USB 数据传输
•保存和加载工艺配方
•过程图和报警日志加载
•射频：13.56MHz，最大。300W 或 600W
•自动阻抗匹配
•过程监控
气流模块
•最大气体通道数：×4行
•气体流量控制：高重复性MFC
•吹扫线：×1 ea
•排气管 : × 1 ea
•MFC 流量 : Max.500 sccm (1 sccm 增量)
•工艺模式：PE / RIE
•腔室: W. 140 X D. 200 X H. 110(mm)
•发电机: 20~100kHz Max. 100W
•MFC：高达 100 sccm
•表压 ：Atm ~ 5 x 10-4 Torr
•几何尺寸：W.440 x D.500 x H.560 (mm)
