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匀胶旋涂仪

CIF-MSC/SC1/2匀胶旋涂仪

CIF 推出的旋涂机系列产品转速稳定、启动迅速,旋涂均匀,操作简单,结构紧凑实用,CIF匀胶旋涂仪为实验室提供了理想的解决方案。
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产品概述

◆  CIF匀胶旋涂仪采用闭环控制伺服电机,数字式增速信号反馈,速匀准确,寿命长,保证匀胶均匀。

◆  7 寸全彩中英文互动操作触摸屏,智能程序化可编程操控显示,标配 10 个匀胶梯度阶段(速度和时间梯度设置) ,可 选配 20 个可编程程序,每个程序下可设置 10 个匀胶梯度阶段,最多 100 个阶段。

◆  内置水平校准装置,大限度的保证旋涂均匀,可对大小不同规格的基片进行旋涂。

◆  多重安全保护电磁安全开关,盖子打开卡盘停止,保证安全;盖子自锁功能,防止飞片盖弹开伤人;

双重安全上盖,聚四氟嵌镶钢化玻璃,避免单一玻璃或者亚克力上盖飞片伤人,大限度保证实验人员安全。

◆  样品托盘卡口和样品托盘之间三重密封安全保护,有效降低电机进胶的风险。

◆  一机两用,根据不同样品可选真空吸盘和非真空卡盘两种旋涂方式。

◆  符合人体功能学的水平取放样品旋涂托盘设计,取放样品更方便。

◆  不锈钢喷塑涂层旋涂壳体,旋涂腔体采用 PTFE 材料。旋涂托盘采用聚丙烯(NPP-H)材料,耐酸碱防腐蚀,保证仪器 在苛刻条件下仍能正常运行。

◆  上下双腔体设计,较大的上腔体便于擦拭去除胶液,锥形下腔体结构设计便于收集胶液,并带废胶收集装置。

◆  可选氮气吹扫、氮气保护,自动滴胶或简易滴胶装置,提供更多的操作便利性。

◆  CIF匀胶旋涂仪适用硅片、玻璃、石英、金属、GaAs,GaN,InP 等多种材料。

技术参数

型号 MSC SC1 SC2
转速 0-10000rpm 0-10000rpm 0-10000rpm
加速度 0-10000rpm/s 0-10000rpm/s 0-10000rpm/s
转速稳定度 ±1% ±1% ±1%
匀胶时间 0-9999s 0-9999s 0-9999s
工作舱直径 直径 180mm 直径 180mm 直径 240mm
基片尺寸 圆片 Φ=6 吋,方片最大 105x105mm 圆片 Φ=6 吋,方片最大 105x105mm 圆片 Φ=8 吋,方片最大 140x140mm
外型尺寸 L245xW325xH215mm L245xW325xH285mm L305xW385xH285mm
包装尺寸 L365xW445xH335mm L365xW445xH405mm L425xW505xH405mm
整机重量 6.3Kg 7.6Kg 11.6Kg

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