产品分类

CIF等离子处理系统

CIF生产型等离子清洗机

CIF 推出的中试生产型等离子清洗机是为研发型客户和工业级客 户而设计的等离子体表面处理设备。配置丰富, 且真空腔体里可分层, 适合大多数生产场景清洗,活化、刻蚀等应用。设备可在严苛环境下 稳定运行,产品性能稳定,样品处理重复性、一致性好。
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产品概述

◆  7 寸彩色触摸屏中英文互动操作界面,自动监测工艺参数状态,20 个配方程序,可存储、输出、追溯工艺数据。

◆  PLC 工控机控制整个清洗过程,手动、自动两种工作模式。

◆  CIF生产型等离子清洗机采用质量流量计,  气体流量控制更准确。标配双路气体输送系统,   可选多气路气体输送系统。可输入氧气、氩气、氮气、 四氟化碳、氢气或混合气体等气体。

◆  采用多孔道进气方式,改变传统等离子清洗机单孔进气不均匀问题。

◆  HEPA 高效过滤,气体返填吹扫,防止二次污染。

◆  316 不锈钢真空舱,洁净无污染。

◆  全真空管路系统采用 316 不锈钢材质。

◆  处理高效均匀,效率高,工艺重复性好。

◆  合理的结构设计,设备占用空间小。

◆  可处理各种材质、形状、尺寸样品。

◆  样品处理温度低,无热损伤和热氧化。

◆  使用成本低、耗损小。

◆  产品性能稳定,安装维护,简单方便。

◆  安全保护,舱门打开,自动关闭电源。

◆  机器运行、停止提示。

技术参数

型号 CPC15 CPC35 CPC80 CPC120 CPC150
舱体尺寸 W240xH240

xD260mm

W320xH320

xD350mm

W420xH400

xD500mm

W500xH500

xD450mm

W500xH500

xD600mm

舱体容积 15L 35L 80L 120L 150L
舱体材质 不锈钢 不锈钢 不锈钢 不锈钢 不锈钢
有效尺寸 W240xD230mm W320xD323mm W420xD468mm W500xxD420mm W500xxD565mm
电极分布 2 层 3-4 层 6 层 8-10 层 10-15 层
射频电源 13.56MHz 13.56MHz 13.56MHz 13.56MHz 13.56MHz
射频功率 0-300W 0-300W 0-600W 0-1000W 0-1000W
匹配器 自动匹配器
激发方式 电容式
电流 1.2A
时间设定 9999 秒
气体稳定 时间 1 分钟
真空度 100pa 以内
控制系统 7 寸 PLC 触摸屏控制
工艺气体 2 气路 MFC  (可选装 3 路)
产品尺寸 L625xW600

xH760mm

L625xW600

xH805mm

L905xW845

xH1940mm

L625xW600

xH760mm

L905xW845

xH2010mm

包装尺寸 L740xW775

xH1000mm

L740xW775

xH1045mm

L1015xW1065 xH2050mm L1015xW1065 xH2120mm L1015xW1065 xH2120mm
真空泵 抽速约 8m³/h 抽速 16m³/h 抽速 40m³/h 抽速 60m³/h 抽速约 60m³/h
电源 AC220V

50/60Hz 552W

AC220V

50/60Hz 552W

AC380V

50/60Hz 902W

AC380V

50/60Hz 1302W

AC380V

50/60Hz 1302W

整机重量 108kg 135kg 465kg 485kg 575kg

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