产品分类

紫外臭氧清洗机

CIF-UVO5紫外臭氧清洗机

紫外臭氧清洗机(UVO),是一种简单,经济,快速高效的材料表面清洗设备,能快速去除大多数无机基材(比如石英,硅片,金,镍,铝,砷化镓,氧化铝等)上的有机污染物。
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产品概述

v UVO基础型采用可编程数字控制器,设置操作简单方便,四键操作控制。UVOP和UVOT系列采用5寸彩色触摸屏设置显示计时时间及加热温度。

v 自动补偿功能,自动恒定光强光密度,不会因为低压汞灯老化光强衰减影响清洗效果。

v 数字倒计时显示清洗时间,1-999分钟之间可自行设置清洗时间。

v 可随时手动中断处理过程。

v 自动记录之前清洗参数设置。

v 样品台可控温(可选),控温范围RT-260℃,控温精度0.1℃。

v 顶置下压式铰链开关盖方式,操作简单方便。

v 上置式样品台设计,360度自由放置样品,操作方便。

v 样品台高度可调,通过调节灯与样品之间的间距,可以合理定位样品高度和位置,并可锁定。

v UV石英低压汞蒸汽格栅灯,灯管寿命大约为8000小时。

v 高强度UV灯源,波长185nm和254nm。

v UV反射罩(长x宽)比UV格栅灯大2.5cm,比如规格为13x13cm格栅灯反射罩尺寸大于15×15cm。

v 双重安全保护,当清洗腔打开时,系统安全锁会关掉UV灯,并有灯光通断提示。

v 带进&出气口双气路设计,可接入氧气或者臭氧,增加臭氧产量。

v UVO5可选外置臭氧中和器,UVO9、UVO12系列可选外置或者内置臭氧中和器,用于臭氧清除。

v 可根据客户要求定制铝或石英材料真空反应腔。

技术参数

产品型号

UV灯尺寸cm 样品台高度cm 主机重量kg 外型尺寸(LxWxH)cm
UVO5/UVO5P/UVO5T 13×13 5cm内可调 6 31x26x20

 

注:UVO型基础型样品台不带加热功能,样品台高度不可调;UVOP可选配样品台加热功能,样品台高度可调;UVOT标配样品台加热功能,样品台高度可调。

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