CIF 扫描电镜（SEM）等离子清洗机采用远程等离子清洗源 设计，清洗快速、高效、低轰击损伤，扫描电镜等离子清洗机主要用于 SEM 或 FIB 等腔 体内碳氢化合物的清洗。
◆ 远程离子清洗源
◆ 扫描电镜等离子清洗机清洗快速、高效
◆ 低轰击损伤
| 产品型号 | CIF–SEM |
| 法兰接口 | KF40（CF40） |
| 工作气压 | 0.3-3Pa |
| 等离子电源 | 13.56MHz 射频电源，射频功率 5-150W 可调 |
| 远程等离子源，自动匹配器 | |
| 气体控制 | 标配单路质量流量计（MFC）可选双路。0-500sccm，自动控制气体流量，不会受环境温度和压力变化影响 |
| 气源选择 | 根据需求氧气、氩气、氮气、氢气等多种清洗气源选择 |
| 真空保证 | 真空计和电磁阀安全互锁 |
| 操控方式 | 7 寸全彩触摸屏控制，中英文互动操作界面 |
| 电源 / 功率 | AC220V，50/60Hz，300W |
| 可选配件 | 可选氧气、氮气、氢气发生器， 氢气纯度﹥ 99.999％，输出流量 0-500SCCM |
| 质量保证 | 二年质保，终身维护 |
| 产品尺寸 | L320xW385xH465mm |
| 包装尺寸 | L440xW535xH725mm |
| 整机重量 | 25 |
