◆ 7 寸彩色触摸屏中英文互动操作界面，自动控制监测工艺参数状态，20 个配方程序，工艺数据可存储追溯。
◆ PLC 控制整个清洗过程，手动、自动两种工作模式。
◆ CIF等离子清洗机F系列用美国德威尔（Dwyer）气体浮子流量计或质量流量计 (CPC-FM)，可输入氧气、氩气、氮气、氢气或混合气等气体，气体控制精准。
◆ 气体返填吹扫，HEPA 高效过滤，防止二次污染。
◆ 316 不锈钢、石英真空舱可选择，全真空管路系统采用316 不锈钢材质，耐腐蚀无污染。
◆ 采用 60 度倾角操作面板设计，符合人体功能学，操作方 便，界面友好。
◆ 上控制下舱体结构设计，结构紧凑，占地空间小。
◆ 内凹式前面板设计，有效保护流量计和舱门不易损坏。
◆ CIF等离子清洗机F系列处理快速高效均匀，无污染，工艺重复性好。
◆ 样品处理温度低，无热损伤和热氧化。
◆ 安全保护，舱门打开，自动关闭电源。
| 型号 | CPC-F | CPC-Fplus | CPC-FM | CPC-FMplus |
| 射频电源 | 40KHz | 13.56MHz | 40KHz | 13.56MHz |
| 射频功率 | 0-600W | 0-150W | 0-600W | 0-150W |
| 匹配器 | 自动匹配器 | 自动匹配器 | ||
| 激发方式 | 电容式或电感耦合（ICP） | 电容式或电感耦合（ICP） | ||
| 气体控制 | 双浮子流量计 | 单路 MFC（可选两路） | ||
| 舱体尺寸 | D200xΦ155mm | D200xΦ155mm | ||
| 舱体材质 | 不锈钢或石英玻璃 | 不锈钢或石英玻璃 | ||
| 舱体容积 | 3.8L-5L | 3.8L-5L | ||
| 有效处理尺寸 | L200xW155mm | L200xW155mm | ||
| 时间设定 | 9999 秒 | 9999 秒 | ||
| 真空泵 | 抽速 4m³/h | 抽速 4m³/h | ||
| 气体稳定时间 | 1 分钟 | 1 分钟 | ||
| 真空度 | 100pa 以内 | 100pa 以内 | ||
| 电 源 | AC220V 50/60Hz 766/316W | AC220V 50/60Hz 752/302W | ||
| 产品尺寸 | L440xW410xH455mm | L440xW410xH455mm | ||
| 包装尺寸 | L560xW560xH685mm | L560xW560xH685mm | ||
| 整机重量 | 32kg | 32kg | ||
